利用带 FIB 制备金字塔压头的微加工纳米力传感器的软材料纳米力学表征
仪器与探测器
2019-01-29 v1
摘要
利用纳米压痕技术对软材料进行定量纳米力学表征，需要进一步改进仪器性能，尤其是其力分辨率。本文描述了一种基于静电梳状驱动器的微加工硅纳米力传感器，其力和深度分辨率分别可达 1 nN 和 0.2 nm。在 MEMS 传感器主轴末端，利用聚焦离子束装置制备了金字塔形压头。已建立采用该 MEMS 纳米压痕仪的原理验证装置，用于测量软聚二甲基硅氧烷的力学性质。首次测量结果证明，该原型测量系统能够对弹性模量低至几 MPa 的软材料进行定量表征。
引用
@article{arxiv.1901.09701,
title = {Note: Nanomechanical characterization of soft materials using a micro-machined nanoforce transducer with an FIB-made pyramidal tip},
author = {Zhi Li and Sai Gao and Uwe Brand and Karla Hiller and Nicole Wollschlaeger and Frank Pohlenz},
journal= {arXiv preprint arXiv:1901.09701},
year = {2019}
}
备注
4 pages, 4 figures