利用基于音叉的微波阻抗显微镜定量测量纳米尺度介电常数与电导率
应用物理
2018-04-05 v1 介观与纳米尺度物理
材料科学
摘要
我们报道了利用基于音叉（TF）的微波阻抗显微镜（MIM）对纳米尺度介电常数与电导率进行的定量测量。该系统在驱动幅度调制模式下工作，确保在粗糙表面样品上具有满意的反馈稳定性。一系列块体电介质上解调的 MIM 信号与有限元分析模拟结果吻合良好。利用 TF-MIM，我们可视化了背栅 场效应晶体管上纳米尺度电导的演化，结果与输运数据一致。我们的工作表明，通过小距离调制的近场微波成像可实现介观电学性质的定量分析。
引用
@article{arxiv.1803.10821,
title = {Quantitative Measurements of Nanoscale Permittivity and Conductivity Using Tuning-fork-based Microwave Impedance Microscopy},
author = {Xiaoyu Wu and Zhenqi Hao and Di Wu and Lu Zheng and Zhanzhi Jiang and Vishal Ganesan and Yayu Wang and Keji Lai},
journal= {arXiv preprint arXiv:1803.10821},
year = {2018}
}