微米尺度上的宽带介电微波显微镜
材料科学
2007-05-23 v1 其他凝聚态物理
摘要
我们证明,基于传输线谐振器的近场微波显微镜能够在相当宽的频率范围内成像,使得显微镜的特性接近空间分辨阻抗分析仪。在电探针的情况下,宽带成像可以直接用于分离样品在约一微米尺度上的电容和电阻特性的贡献。使用基于传输线谐振器的微波近场显微镜,我们在1.3 GHz至17.4 GHz的频率范围内,对高介电常数Ba_{0.6}Sr_{0.4}TiO_3 (BSTO)薄膜上聚焦离子束(FIB)铣削结构的局部介电性质进行了成像。对于所使用的探针几何结构,静电近似在约10 GHz以上的频率已经失效,需要全波分析才能从图像中获得定性信息。
引用
@article{arxiv.cond-mat/0702573,
title = {Broadband dielectric microwave microscopy on $\mu$m length scales},
author = {Alexander Tselev and Steven M. Anlage and Zhengkun Ma and John Melngailis},
journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0702573},
year = {2007}
}
备注
19 pages (preprint format), 5 figures; to be published in Review of Scientific Instruments