三轴硅力传感器的机电可靠性测试
其他计算机科学
2007-11-29 v1
摘要
本文报道了一种用于微组件尺寸计量的新型三轴力传感器的系统性机电表征。该基于硅的传感器系统由集成在薄膜铰链中的压阻式机械应力换能器组成，这些铰链支撑着一个悬浮的柔性十字结构。针对静态和动态载荷情况，分析了该脆弱微机械结构的力学行为。本工作表明，该硅微结构能够承受垂直作用于结构正面的 1.16 N 静态力。对测量数据的统计 Weibull 分析显示，若将法向力施加于传感器背面，这些数值会显著降低。根据测量结果，推导出了用于未来开发周期的传感器系统设计改进方案。
引用
@article{arxiv.0711.3289,
title = {Electromechanical Reliability Testing of Three-Axial Silicon Force Sensors},
author = {S. Spinner and J. Bartholomeyczik and B. Becker and M. Doelle and O. Paul and I. Polian and R. Roth and K. Seitz and P. Ruther},
journal= {arXiv preprint arXiv:0711.3289},
year = {2007}
}
备注
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