基于辐射压力传感的光功率测量微机械力秤
仪器与探测器
2018-06-28 v1
摘要
我们介绍了一种通过辐射压力传感进行激光功率测量的微机械力秤。利用该技术，被测激光不被吸收，可在测量同时被利用。我们采用硅微加工技术构建微型力秤，为其用于快速在线激光过程监测开辟了潜力。此处我们描述了力学传感原理及向电信号的转换。我们进一步概述了用于抵消传感器镜面上辐射压力力的静电力替代过程。最后，我们考察了一个概念验证器件在开环操作（无抵消静电力）下受 250 W 调制激光作用时的性能，发现其响应时间小于 20 ms，噪声基底由电子学主导，为 2.5 W/root(Hz)。
引用
@article{arxiv.1806.10585,
title = {Micromachined force scale for optical power measurement by radiation pressure sensing},
author = {Ivan Ryger and Alexandra B. Artusio-Glimpse and Paul Williams and Nathan Tomlin and Michelle Stephens and Kyle Rogers and Matthew Spidell and John Lehman},
journal= {arXiv preprint arXiv:1806.10585},
year = {2018}
}