等腰梯形梁膜微压力传感器的仿真、制备工艺及特性研究
应用物理
2020-12-02 v1
摘要
本文提出一种具有等腰梯形梁膜(ITBM)的微压力传感器，其由方形硅膜、四根等腰梯形梁与四个压阻组成。为研究弹性硅膜如何影响压力敏感特性，基于 ANSYS 15.0 软件建立仿真模型，分析结构尺寸对压力传感器特性的影响。据此，采用微机电系统(MEMS)技术在 <100> 晶向硅片上制备微压力传感器芯片。实验结果表明，所提传感器在室温、5.0 V 供电、0~3.0 kPa 量程内实现了 9.64 mV/kPa 的较高灵敏度与 0.09%F.S. 的优异线性度，在 235.15 K 至 360.15 K 范围内灵敏度温度系数(TCS)约为 -684 ppm/K，且可测低压小于 3.0 kPa。
引用
@article{arxiv.2002.12484,
title = {The Simulation, Fabrication Technology and Characteristic Research of Micro-Pressure Sensor with Isosceles Trapezoidal Beam-Membrane},
author = {Jing Wu and Xiaofeng Zhao and Yibo Liu and Dianzhong Wen},
journal= {arXiv preprint arXiv:2002.12484},
year = {2020}
}