膜夹层挤压膜压力传感器

挤压膜压力传感器利用小间隙区域内流体压缩对振荡元件机械性质的动态改变，可实现直接且绝对的压力测量。本教程文章讨论了膜夹层挤压膜压力传感器的工作原理，即由两块大面积、超薄悬浮膜平行排列形成数微米间隙并浸没于流体中构成的传感器，并聚焦于其在自由分子流 regime 中的工作。在介绍近期采用高拉伸应力氮化硅膜的实验实现之前，从一般角度讨论了气体压力对膜谐振器振动及其耦合动力学的影响。