压力对悬浮微机械膜阵列的影响

在自由分子和准分子流区，研究了由一对悬浮、平行的氮化硅膜构成的微机械充气腔在压力影响下的特性。通过光学干涉法确定了基础鼓膜模式机械谐振频率和阻尼随空气压力的变化。观察到由于膜间流体压缩产生的动力学阻尼线性摩擦力和正向谐振频率位移在 0.01-10 mbars 范围内与压力成正比。对于具有近简并模式的谐振器，还观察到了由这种压膜效应引起的模式杂化，并且通过简单的弹簧耦合振子模型得到了很好的解释。