石墨烯挤压膜压力传感器
介观与纳米尺度物理
2017-11-17 v1
摘要
挤压膜压力传感器的工作原理基于膜共振频率的压力依赖性，该依赖性由周围气体压缩引起，气体压缩改变了谐振器刚度。为实现此类传感器，不仅需要强韧且柔性的膜，而且最小化膜质量对于最大化响应度至关重要。在此，我们展示了使用少层石墨烯膜作为挤压膜压力传感器。观察到膜共振频率的明确压力依赖性，在 8 至 1000 mbar 之间频率偏移为 4 MHz。该传感器显示出可复现的响应且无滞回。测得的器件响应度为 9000 Hz/mbar，比最先进的基于 MEMS 的挤压膜压力传感器高 45 倍，同时使用的膜面积小 25 倍。
引用
@article{arxiv.1510.06919,
title = {Graphene Squeeze-Film Pressure Sensors},
author = {Robin J. Dolleman and Dejan Davidovikj and Santiago J. Cartamil-Bueno and Herre S. J. van der Zant and Peter G. Steeneken},
journal= {arXiv preprint arXiv:1510.06919},
year = {2017}
}