用于麦克风应用的超灵敏石墨烯薄膜
应用物理
2022-11-08 v1
摘要
麦克风利用悬空薄膜的运动来探测声波。由于降低传感薄膜的厚度与质量可改善麦克风性能，基于石墨烯的麦克风有望超越最先进的微机电系统（MEMS）麦克风，并进一步实现器件微型化。在此，我们展示了针对麦克风应用的多层悬空石墨烯薄膜声学响应的激光测振研究。我们探讨了与声学传感相关的性能参数，包括机械灵敏度、探测极限与非线性失真，并讨论了石墨烯麦克风设计中的权衡与局限。我们证明了石墨烯薄膜具有优异的机械灵敏度，其柔顺性比商用 MEMS 器件高两个数量级以上，并报道了低至 15 dBSPL 的探测极限，比当前 MEMS 麦克风低 10–15 dB。
引用
@article{arxiv.2211.03369,
title = {Ultra-sensitive graphene membranes for microphone applications},
author = {Gabriele Baglioni and Roberto Pezone and Sten Vollebregt and Katarina Cvetanovic and Marko Spasenovic and Dejan Todorovic and Hanqing Liu and Gerard J. Verbiest and Herre S. J. van der Zant and y and Peter G. Steeneken},
journal= {arXiv preprint arXiv:2211.03369},
year = {2022}
}
备注
34 pages, 6 figures, 7 supplementary figures