基于石墨烯的柔性 Hall 传感器
应用物理
2017-08-02 v1 介观与纳米尺度物理
摘要
石墨烯优异的电子和力学性能为高性能柔性电子器件与传感器件提供了完美的基础。在此，我们展示了基于柔性石墨烯的 Hall 传感器的制备与表征。该 Hall 传感器制备在 50 μm 厚的柔性 Kapton 聚酰亚胺薄膜上，采用通过化学气相沉积技术在铜箔上生长的大规模石墨烯。测得的电压和电流归一化灵敏度分别高达 0.096 V/VT 和 79 V/AT。这些数值与刚性硅基 Hall 传感器的灵敏度相当，也是迄今为止任何柔性 Hall 传感器件所报道的最高值。该 Hall 传感器的灵敏度在弯曲至 4 mm 的最小曲率半径（对应 0.6% 的拉伸应变）后，以及在弯曲至 5 mm 半径 1,000 次循环后均未表现出退化。
关键词
引用
@article{arxiv.1707.09262,
title = {Flexible Hall Sensors Based on Graphene},
author = {Zhenxing Wang and Mehrdad Shaygan and Martin Otto and Daniel Schall and Daniel Neumaier},
journal= {arXiv preprint arXiv:1707.09262},
year = {2017}
}