在凹弯与凸弯下具有稳定灵敏度的可塑形平面霍尔传感器
应用物理
2019-03-26 v1
摘要
通过在 Kapton/PDMS 衬底上剥离生长无缓冲层的 NiFe(10 nm)/IrMn (8 nm) 双层结构，制备了一种可塑形平面霍尔传感器。该传感器表现出 0.74 V/Oe.mA 的磁场灵敏度，并在重复开/关实验中提供稳定响应。凹弯与凸弯测量表明，传感器的 AMR 电压对应力与应变非常敏感。然而，平面霍尔灵敏度与它们无关，在磁场轴上具有稳定的线性区且峰值位置不变。这种特性在平面霍尔传感器中属首次观测到。因此，该新型器件可同时实现小磁场、应力与应变的多功能传感，这使其在类人机器人触觉传感应用中具有前景。
引用
@article{arxiv.1901.08867,
title = {Shapeable planar Hall sensor with a stable sensitivity under concave and convex bending},
author = {B. Özer and H. Pişkin and N. Akdoğan},
journal= {arXiv preprint arXiv:1901.08867},
year = {2019}
}
备注
11 pages, 4 figures