室温下可溯源校准的扫描霍尔探针显微术
仪器与探测器
2020-11-17 v3
摘要
介绍了用于室温扫描磁场显微应用的金和石墨烯微纳尺寸霍尔传感器的制备、表征与比较。活性区从 5 m 到 50 nm 的霍尔传感器通过电子束光刻制备。在外部磁场中对霍尔传感器的校准显示，室温下金的灵敏度为 3.2 mV/(AT) 0.3 %，石墨烯为 1615 V/(AT) 0.5 %。金传感器制备在适于集成到商用扫描探针显微镜的氮化硅悬臂芯片上，可在环境条件下及受控的传感器-样品距离下进行扫描霍尔显微术（SHM）。使用 5 m 金霍尔传感器表征了磁性标尺的随高度变化的杂散场分布。分析了基于霍尔传感器的整个扫描与数据采集过程的不确定度，从而实现可溯源校准的 SHM 测量。测量结果与数值模拟在不确定度范围内吻合良好。
引用
@article{arxiv.1910.12676,
title = {Traceably Calibrated Scanning Hall Probe Microscopy at Room Temperature},
author = {Manuela Gerken and Aurélie Solignac and Davood Momeni Pakdehi and Alessandra Manzin and Thomas Weimann and Klaus Pierz and Sibylle Sievers and Hans Werner Schumacher},
journal= {arXiv preprint arXiv:1910.12676},
year = {2020}
}
备注
13 pages, 6 figures