微/纳米尺度涂层压痕：裂纹形成与偏转
材料科学
2016-07-25 v1
摘要
纳米压痕是在纳米尺度获取力学性能的有效方法。它们对于需要消除基底效应的薄膜尤其有用。该机制基于 Oliver 和 Pharr 模型提出的深度传感压痕。纳米压痕被用于评估通过磁控溅射沉积的硬涂层的纳米力学和断口形貌性质。在压痕测试中观察到径向和横向裂纹以及伴随的涂层剥落。在 CNx 薄膜中观察到应力诱导结晶的新现象，导致了裂纹偏转。还使用维氏压头进行了微米尺度压痕，并分析了开裂现象。
引用
@article{arxiv.1607.06745,
title = {Indentation of Coatings at micro/nano scale: Crack formation and deflection},
author = {A. S. Bhattacharyya},
journal= {arXiv preprint arXiv:1607.06745},
year = {2016}
}