单晶金纳米天线的先进加工技术
光学
2017-03-13 v1
摘要
本文介绍了一种从单晶金薄片上雕刻出光学纳米天线的纳米加工工艺。该方法首先合成二维微米尺寸的金晶体，然后通过干法刻蚀得到所需的天线布局。利用标准电子束光刻工具和干法刻蚀反应器制备单晶光学纳米天线，为聚焦离子束铣削加工此类结构提供了一种替代技术方案。该工艺以纳米棒天线的加工为例进行了演示。暗场光谱分析表明，与相似形状的非晶设计相比，由单晶薄片制成的光学天线具有更低的局域表面等离激元共振损耗。本工艺可轻松应用于银或铜等其他金属，并提供了胶体化学合成的晶体颗粒所不具备的设计灵活性。
引用
@article{arxiv.1703.03716,
title = {Advanced engineering of single-crystal gold nanoantennas},
author = {R. Méjard and A. Verdy and O. Demichel and M. Petit and L. Markey and F. Herbst and R. Chassagnon and G. Colas-des-Francs and B. Cluzel and A. Bouhelier},
journal= {arXiv preprint arXiv:1703.03716},
year = {2017}
}