具有开放通路且精细度达五十万的硅微腔阵列
应用物理
2019-04-03 v1 光学
量子物理
摘要
光学谐振腔在科学和技术中是日益重要的工具。其应用范围从激光物理、原子钟、分子光谱学和单光子产生,到原子或纳米尺度物体的探测、捕获和冷却。许多此类应用受益于强模式限制和高光学品质因子,使得高表面质量的小镜面备受青睐。在硅中构建此类器件可在电信波长处实现超低吸收,并能够集成具有机械、电学和其他功能的微结构。在此,我们通过制造具有超光滑表面、小而可控曲率半径、超低损耗和高反射率的光刻对准硅镜,将光学谐振腔技术推向新极限。我们构建了精细度大于 F = 500,000、在 1550 nm 附近波长处模式体积为 330 飞升的微腔大阵列。此类高质量微镜开辟了光学新领域,并实现光与物质强耦合的空前探索。
引用
@article{arxiv.1904.01106,
title = {Silicon microcavity arrays with open access and a finesse of half a million},
author = {G. Wachter and S. Kuhn and S. Minniberger and C. Salter and P. Asenbaum and J. Millen and M. Schneider and J. Schalko and U. Schmid and A. Felgner and D. Hüser and M. Arndt and M. Trupke},
journal= {arXiv preprint arXiv:1904.01106},
year = {2019}
}