用于中红外与光谱传感的异质集成硅光子学
光学
2014-03-07 v1
摘要
除了作为微电子的基础材料外，在光学领域，晶体硅长期以来一直被用于制造红外透镜和反射镜。最近，硅已成为实现光互连和电信领域光子器件大规模集成的关键材料。对于光学应用，硅具有显著优势：它提供非常高的折射率，并且在 1.2 至 8 微米的光谱范围内高度透明。为了在极宽的范围内充分利用硅的卓越性能并启用新的光电功能，我们描述了一种将硅光子器件集成到任意衬底上的通用方法。特别是，我们应用该技术成功地将硅微环谐振器集成到与中红外兼容的衬底上，以在中红外波段工作。这些高性能中红外光学谐振器首次被用于演示片上腔增强中红外有机化学品光谱分析，其检测限低于 0.1 ng。
引用
@article{arxiv.1403.1334,
title = {Heterogeneously integrated silicon photonics for the mid-infrared and spectroscopic sensing},
author = {Yu Chen and Hongtao Lin and Juejun Hu and Mo Li},
journal= {arXiv preprint arXiv:1403.1334},
year = {2014}
}