高 Q 值薄膜微谐振器中参数放大的机械谱分析
应用物理
2018-10-04 v1 介观与纳米尺度物理
光学
摘要
我们开发了一种化学计量比的 SiN 薄膜光电机械系统，其中机械谐振器的特性可以通过压电驱动进行动态控制。在相位敏感简并参数放大器的机械响应谱中观察到了模式分裂。此外，在此过程中，由于相干放大，薄膜振荡器的品质因数 Q 显著提高了两个数量级以上，在室温下达到了约 的 Q 因子和约 的 乘积。还实现了接近 -3 dB 限制的热机械噪声压缩。该系统集成了电、光和机械自由度，且不损害 SiN 薄膜的优异材料特性，可以作为研究腔光电机械学的有用平台。
关键词
引用
@article{arxiv.1708.05229,
title = {Mechanical Spectroscopy of Parametric Amplification in a High-Q Membrane Microresonator},
author = {Shuhui Wu and Jiteng Sheng and Xiaotian Zhang and Yuelong Wu and Haibin Wu},
journal= {arXiv preprint arXiv:1708.05229},
year = {2018}
}