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扫频鼓膜式机械谐振器

应用物理 2018-08-31 v1

摘要

我们展示了一种高Q值(>5×10^6)的扫频薄膜机械谐振器,其通过集成加热器实现倍频程共振调谐,并在50 kHz以上频率处达到前所未有的低于1 μg Hz^{-1/2}的加速度噪声基底。该器件与成熟的批量制造技术兼容,且其光学读出兼容低相干光源(例如单色发光二极管)。该器件也可通过测辐射热光力学由同一光源进行机械稳定(或驱动),我们展示了从室温到10 K的激光冷却。最后,这种频率调谐方法非常适合于机械耗散的基础研究;特别地,我们恢复了多种模式的耗散谱,确定材料阻尼和与衬底共振的耦合是主要的损耗机制。

关键词

引用

@article{arxiv.1808.10084,
  title  = {Swept-Frequency Drumhead Mechanical Resonators},
  author = {Raphael St-Gelais and Simon Bernard and Christoph Reinhardt and Jack Sankey},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1808.10084},
  year   = {2018}
}

备注

7 pages, 4 figures