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超高品质因数 SiN 薄膜谐振器中的耗散

介观与纳米尺度物理 2015-06-17 v1 光学 量子物理

摘要

我们结合光谱学与干涉成像技术研究化学计量比 SiN 谐振器的光机械特性。在室温下,我们实现了 5×1075 \times 10^7 的超高品质因数和 1×10141 \times 10^{14} Hz 的 f×Qf \times Q 乘积;据我们所知,这对应于迄今报道的介观弯曲谐振器的最大值。通过对谐振器和衬底几何结构依赖的极限耗散机制进行全面研究,我们确定通过支撑衬底的辐射损耗是主要的损耗过程。除了通过优化衬底设计指向更高品质因数的途径外,我们的工作还实现了一个 enabling platform,用于在与室温热浴耦合的宏观机械系统中观测和控制量子行为。

关键词

引用

@article{arxiv.1311.1234,
  title  = {Dissipation in ultrahigh quality factor SiN membrane resonators},
  author = {S. Chakram and Y. S. Patil and L. Chang and M. Vengalattore},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1311.1234},
  year   = {2015}
}