使用化学计量SiN薄膜的腔光力学

我们研究高应力SiN薄膜，以在介观振子连接室温热库的情况下达到量子区域，这对振子的品质因子和频率有严格要求。我们的SiN薄膜支持的机械模式具有前所未有的机械品质因子$Q_m$与频率$\nu_m$的乘积，达到$Q_{m} \nu_m \simeq 2 \times 10^{13}$ Hz。SiN薄膜表现出低光吸收，其特征为在935 nm处Im$(n) \lesssim 10^{-5}$，这比SiN薄膜降低了15倍。我们开发了一种基于短高精细度法布里-珀罗腔同时冷却多个机械模式运动的装置，并展示了初步冷却结果及未来可能性。