用于室温量子光力学的氮化硅 MOMS 振荡器
应用物理
2018-11-28 v1 光学
量子物理
摘要
高精细度法布里-珀罗腔中的光机械 SiN 纳米振荡器可用于研究机械与光学自由度之间的相互作用，以进行超灵敏计量与基础量子力学研究。在本工作中，我们展示了一种由高应力圆形 SiN 膜制成的纳米振荡器，其集成了片上三维隔震滤波器，经专门设计以降低机械损耗。该振荡器工作于 200 kHz–5 MHz 范围，在室温下具有机械品质因数 以及超过 Hz 的 Q-频率乘积，满足光机械腔中振荡器量子基态冷却的最低要求。该器件通过 MEMS DRIE 体微加工在绝缘体上硅（SOI）晶圆上双侧硅工艺制得。该微加工工艺相当灵活，若传感应用需要，可在 DRIE 步骤前于 SiN 膜上沉积附加层。因此，此类振荡器是量子技术新兴领域中量子传感应用的有力候选者。
引用
@article{arxiv.1806.11513,
title = {Silicon Nitride MOMS Oscillator for Room Temperature Quantum Optomechanics},
author = {Enrico Serra and Bruno Morana and Antonio Borrielli and Francesco Marin and Gregory Pandraud and Antonio Pontin and Giovanni Andrea Prodi and Pasqualina M. Sarro and Michele Bonaldi},
journal= {arXiv preprint arXiv:1806.11513},
year = {2018}
}