高分辨率扫描透射电子显微镜的扩展景深
材料科学
2011-12-15 v1 介观与纳米尺度物理
其他凝聚态物理
摘要
像差校正的扫描透射电子显微镜（STEM）可提供亚埃级的横向分辨率；然而，大的会聚角极大地减小了景深。对于小景深的显微镜，焦平面以外的信息会迅速变得模糊且不清晰。可能无法将某些样品完全对焦成像。然而，扩展景深技术允许从一系列在不同深度对焦的图像中提取出一张所有区域都清晰对焦的单一图像。近年来，多种算法方法已被用于明场光学显微镜。在此，我们证明了一些成熟的光学显微镜方法也可应用于扩展100 kV五阶像差校正STEM（alpha_max = 33 mrad）约6 nm的焦深，以对厚硫化碳载体上的Pt-Co纳米颗粒进行成像。这些技术使我们能够自动获得一张所有颗粒都清晰对焦的单一图像以及一张互补的形貌图。
引用
@article{arxiv.1010.4500,
title = {Extended Depth of Field for High Resolution Scanning Transmission Electron Microscopy},
author = {Robert Hovden and Huolin L. Xin and David A. Muller},
journal= {arXiv preprint arXiv:1010.4500},
year = {2011}
}
备注
Accepted, Microscopy and Microanalysis