计算机视觉应用于定量SEM分析中的原位样品取向调整
介观与纳米尺度物理
2023-02-15 v1
摘要
基于扫描电子显微镜（SEM）使用的定量分析方法，如能量色散X射线光谱，通常要求样品具有垂直于电子束的平坦表面。将微观平面置于该取向的原位操作一般依赖立体方法，通过测量表面倾斜已知角度时表面矢量投影的变化来实现。尽管这些方法过去已被使用，但尚无针对此类方法所涉及不确定性的详细统计分析，这使得样品能被取向的精度存在不确定性。在此，我们给出样品取向方法的第一性原理推导，并将该方法应用于平坦样品以作演示。与以往工作不同，我们利用尺度不变特征变换（Scale Invariant Feature Transform）开发了计算机视觉程序，以自动化并加速SEM图像上的测量过程，从而能够通过大样本量对该方法进行详细统计分析。我们发现，我们的样品取向方法能够以高精度将平坦表面取向，并可进一步揭示标准SEM旋转和倾斜操作中的误差。
引用
@article{arxiv.2209.12844,
title = {Computer Vision Applied to In-Situ Specimen Orientation Adjustment for Quantitative SEM Analysis},
author = {Clay Klein and Chunfei Li},
journal= {arXiv preprint arXiv:2209.12844},
year = {2023}
}
备注
8 pages, 5 figures