具有大视场且面向原始表面的位点特异性平面透射电子显微镜薄片制备
应用物理
2021-09-03 v1 材料科学
摘要
透射电子显微镜已成为一种主要的表征工具,其方法种类不断增多并被应用于广泛的科学领域。然而,相关流程中或许最著名的陷阱在于制备高质量电子透明薄片,以提取有价值且可靠的信息。尤其在固态物理与材料科学领域,常需以平面视角研究宏观试样的表面。尽管如此,尽管仪器(即聚焦离子束)取得了巨大进展,现有平面薄片制备技术的产率相较于截面提取方法仍相对较低。此外,依赖机械处理(即常规制备)的技术会牺牲位点特异性。在本文中,我们证明通过在聚焦离子束背面取出前加入机械研磨步骤,平面薄片制备变得愈发容易。所提策略将微米级精度的位点特异性与对原始表面的观测(视场达数百平方微米)结合在一起。
引用
@article{arxiv.2011.00614,
title = {Site-specific plan-view TEM lamella preparation of pristine surfaces with a large field of view},
author = {Tobias Meyer and Tobias Westphal and Birte Kressdorf and Ulrich Ross and Christian Jooss and Michael Seibt},
journal= {arXiv preprint arXiv:2011.00614},
year = {2021}
}