用于像差校正透射电子显微镜的高品质薄片机器人制备
材料科学
2021-05-27 v2 仪器与探测器
摘要
像差校正扫描透射电子显微镜 (STEM) 被广泛用于材料的原子级成像。为加速基于原子级研究的新型材料发现,像差校正 STEM 实验的吞吐量与日俱增地重要。然而,像差校正 STEM 完整工作流的吞吐量仍然相当低。一个根本问题在于高品质薄 STEM 样品(薄片)的制备依赖于人工操作。受近期“机器人科学家”成功的启发,我们展示了利用聚焦离子束 (FIB) 与全自动化软件机器人制备高品质薄片。首先,我们表明机器人 FIB 能以高成功率制备薄片,其控制粗铣、取出和最终减薄过程。然后,我们针对单晶 Si 优化了最终减薄过程的 FIB 参数。这些 Si 薄片的像差校正 STEM 成像显示出具有 55 pm 分辨率的原子级图像。我们还展示了 SrTiO3 与蓝宝石高品质薄片的机器人制备。该机器人 FIB 系统将解决像差校正 STEM 分析完整工作流当前的瓶颈,并加速基于原子级成像的材料发现。
引用
@article{arxiv.2102.09698,
title = {Robotic fabrication of high-quality lamellae for aberration-corrected transmission electron microscopy},
author = {Hideyo Tsurusawa and Nobuto Nakanishi and Kayoko Kawano and Yiqiang Chen and Brandon Van Leer and Teruyasu Mizoguchi},
journal= {arXiv preprint arXiv:2102.09698},
year = {2021}
}
备注
14 pages, 7 figures, 1 table, Supplementary Materials (4 figures)