一种量子纳米结构的 TEM 样品制备优化方法
介观与纳米尺度物理
2022-02-09 v1
摘要
具有未改变微观结构与化学成分的电子透明 TEM 薄片是成功进行 TEM 探究的先决条件。目前，量子纳米结构（如量子点（QDs））的 TEM 样品制备仍是一项挑战。本工作中，我们优化了样品制备流程，以获得由生长在 SrTiO3（STO）衬底上的 SrRuO3（SRO）量子点组成的高质量 TEM 样品。我们证明，与通过三脚抛光结合 Ar+ 离子铣削制备的 TEM 样品相比，离子束铣削技术组合能产生更高质量的量子纳米结构样品。在所提方法中，聚焦离子束设备中的同步成像可实现 QD 区域的准确定位，并通过将样品相对于量子点阵列倾斜 5{\deg} 切割，确保薄薄片中存在量子点。此外，制备具有若干由较厚壁分隔的大电子透明区域的 TEM 薄片，有效减少了样品的弯曲并提供了宽阔的薄区。最后使用 NanoMill 有效去除非晶层而不引入任何额外损伤。
引用
@article{arxiv.2202.03840,
title = {An optimized TEM specimen preparation method of quantum nanostructures},
author = {Hongguang Wang and Vesna Srot and Bernhard Fenk and Gennadii Laskin and Jochen Mannhart and Peter A. van Aken},
journal= {arXiv preprint arXiv:2202.03840},
year = {2022}
}
备注
20 pages, 6 figures, 1 table