一种用于原位 S/TEM 的 MEMS 实验的无污染电子透明金属样品制备方法
材料科学
2022-09-01 v1 介观与纳米尺度物理
摘要
微机电系统（MEMS）目前正支撑材料科学与冶金学中的突破性基础研究，因为它们允许在电子显微镜内于多种不同条件下对材料进行纳米尺度原位实验，例如超快加热和淬火速率下的极端材料动力学以及复杂电化学环境中的动力学。用于 MEMS 电子芯片的电子透明样品制备对该技术仍是一项挑战，因为现有方法会引入污染物，从而干扰实验与结果分析。在此我们介绍一种用于 MEMS 电子芯片的简单快速且无显著污染的电子透明样品制备方法。在电子显微镜内对一种交叉 AlMgZn(Cu) 合金进行热处理期间，评估了样品的质量及其在 MEMS 电子芯片原位实验中的表现。
引用
@article{arxiv.2012.02941,
title = {A contamination-free electron-transparent metallic sample preparation method for MEMS experiments with in situ S/TEM},
author = {Matheus A. Tunes and Cameron Quick and Lukas Stemper and Diego S. R. Coradini and Jakob Grasserbauer and Phillip Dumitraschkewitz and Thomas M. Kremmer and Stefan Pogatscher},
journal= {arXiv preprint arXiv:2012.02941},
year = {2022}
}
备注
Preprint submitted to Microscopy and Microanalysis