用于提升电子显微镜对比度与分辨率的紫外光电效应
仪器与探测器
2016-04-07 v1 材料科学
光学
摘要
展示了一种在扫描电子显微镜 (SEM) 中提供材料对比度控制的新工具。该方法基于SEM成像期间的深紫外照明，由于光电效应提供了基于材料的新对比度以及更高分辨率。从被照明样品表面释放的电子有助于成像，可以以更快采集速率进行，提供材料选择性对比度，减少表面充电引起的畸变，并可替代SEM中的金属镀层。这些特征提供高保真SEM成像，有望显著改进电子束仪器性能，并为纳米尺度材料成像和表征开辟新机会。
引用
@article{arxiv.1604.01426,
title = {UV-photoelectric effect for augmented contrast and resolution in electron microscopy},
author = {Gediminas Seniutinas and Armandas Balcytis and Saulius Juodkazis},
journal= {arXiv preprint arXiv:1604.01426},
year = {2016}
}