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扫描电子显微镜中纳米颗粒的前散射电子成像

材料科学 2019-07-09 v1

摘要

本研究使用含有明确纳米析出物的 Zr-Nb 合金作为模型材料,以研究在扫描电子显微镜(SEM)中使用 ARGUSTM 前散射电子成像系统对薄箔进行透射几何成像时观察到的成像衬度反转(原子序数衬度或衍射衬度)。本研究基于 Monte Carlo 模拟以及对在不同成像条件下实验获取的显微照片的分析。根据结果,提出了增强原子序数衬度或衍射衬度的成像条件。还将从 SEM 中 ARGUSTM 成像系统获取的数据与同一材料的标准透射电子显微镜和扫描透射电子显微镜成像结果进行了比较。这些结果证明了 ARGUSTM 系统在研究纳米级材料微结构方面的能力。

关键词

引用

@article{arxiv.1904.05660,
  title  = {Forescattered electron imaging of nanoparticles in a scanning electron microscopy},
  author = {Junliang Liu and Sergio Lozano-Perez and Phani Karamched and Jennifer Holter and Angus J. Wilkinson and Chris R. M. Grovenor},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1904.05660},
  year   = {2019}
}