利用光电润湿实现微机电系统的“远程驱动”：概念验证
流体动力学
2012-06-01 v1 材料科学
仪器与探测器
摘要
我们在此展示了一项概念验证实验，证明微机电系统 (MEMS) 可以利用光电润湿效应进行驱动。为了验证这一点，我们使用普通白光光源驱动了一个厚度为 30 \mu m 的铝制悬臂梁。在 7 V 偏压下，当光辐照度约为 \approx 1000 W m-2 时，观察到 56 \mu m 的挠度。悬臂梁的挠度依赖于近期观测到的光电润湿效应 [Sci. Rep.1, 184 (2011)]。这种“远程驱动”方式可用于自主无线传感器、MEMS 和微系统的光学寻址与控制。
引用
@article{arxiv.1201.2873,
title = {"Actuation at a distance" of microelectromechanical systems using photoelectrowetting: proof-of-concept},
author = {Matthieu Gaudet and Steve Arscott},
journal= {arXiv preprint arXiv:1201.2873},
year = {2012}
}