用于光学MEMS开关的静电致动器集总参数性能分析与优化
计算物理
2010-02-12 v1
摘要
本文涉及使用有限元分析方法对静电致动的固支梁和悬臂梁进行设计和仿真。本文提供了不同偏置电压下的详细研究和性能分析。研究了不同梁尺寸的吸合电压以及自然或主导模态及其对应的特征值在不同偏置电压下的变化。还研究了不同梁尺寸下的梁位移。通过大量仿真获得了固支梁和悬臂梁的长度和宽度的结果。结果表明吸合电压从2348V变化到772V，自然频率从102.92 KHz变化到916.35 KHz。
引用
@article{arxiv.1002.2224,
title = {Performance Analysis and Optimization of Lumped Parameters of Electrostatic Actuators for Optical MEMS Switches},
author = {D. Mohana Geetha and M. Madheswaran},
journal= {arXiv preprint arXiv:1002.2224},
year = {2010}
}
备注
IEEE format, International Journal of Computer Science and Information Security, IJCSIS January 2010, ISSN 1947 5500, http://sites.google.com/site/ijcsis/