静电驱动微悬臂梁静态行为的实验表征
其他计算机科学
2008-02-22 v1
摘要
本文涉及对作者先前建立的数学模型进行实验验证，以预测微机电静电驱动器的静态行为，基本结构为自由-固定微梁。该布局目前用于 RF-MEMS 设计操作，甚至用于微尺度材料测试。该研究初步调查了一组面内弯曲微悬臂梁的静态行为。本研究旨在区分在小位移假设下表现出的几何线性行为与由大挠度引起的几何非线性。由位移、电荷和电压非线性耦合决定的施加机电力，通过基于数值方法的耦合场方法预测，并通过 Fogale Zoomsurf 3D 进行实验验证。模型性能在 pull-in 预测以及位移-电压曲线方面进行了评估。事实上，通过耦合场方法在商业代码中进行的 FEM 非线性解以及非增量 FEM 方法与线性解进行了对比，涉及不同的设计参数值。
引用
@article{arxiv.0802.3097,
title = {Experimental Characterization of the static behaviour of microcatntilevers electrostatically actuated},
author = {A. Ballestra and E. Brusa and M. G. Munteanu and A. Soma},
journal= {arXiv preprint arXiv:0802.3097},
year = {2008}
}
备注
Submitted on behalf of EDA Publishing Association (http://irevues.inist.fr/EDA-Publishing)