微悬臂梁几何形状与间隙对吸合电压的影响
其他计算机科学
2007-11-29 v1
摘要
本文利用有限差分法研究了静电驱动下微悬臂梁的行为。该问题在基于 MEMS 的设备（如加速度计、开关等）中有广泛应用。本文建立了末端带有质量块的悬臂梁模型并进行了有限差分求解。利用文献中的数据，研究了长度、宽度和间隙尺寸对吸合电压的影响。此外，还将稳定性极限与早期文献中常用于计算吸合电压近似值的单自由度模型进行了比较。
引用
@article{arxiv.0711.3299,
title = {Influence of Micro-Cantilever Geometry and Gap on Pull-in Voltage},
author = {W. Faris and H. Mohammed and M. M. Abdalla and C. -H. Ling},
journal= {arXiv preprint arXiv:0711.3299},
year = {2007}
}
备注
Submitted on behalf of TIMA Editions (http://irevues.inist.fr/tima-editions)