微尺度压电悬臂梁的数值分析：尺寸参数对本征频率的影响
材料科学
2021-09-14 v1 数值分析
数值分析
摘要
在设计微尺度压电悬臂梁时，本征频率是需考虑的最重要的系统响应之一。本文研究并分析了微尺度压电悬臂梁的尺寸参数对其本征频率的影响。假定梁由硅制成。在 COMSOL Multiphysics 软件环境下基于结构力学进行有限元分析研究。可见长度与厚度对本征频率有连续影响；而宽度的影响是不连续的。
引用
@article{arxiv.2109.06060,
title = {A Numerical Analysis of a Micro-scale Piezoelectric Cantilever Beam: the Effect of Dimension Parameters on the Eigen Frequency},
author = {Tejas Fanse},
journal= {arXiv preprint arXiv:2109.06060},
year = {2021}
}
备注
6 pages, 7 figures