利用微悬臂实现探针与表面间距离的精确控制
仪器与探测器
2015-06-24 v1 光学
摘要
我们展示了一种在 {\mu}m 到 nm 尺度上精确控制定制探针与样品之间距离的方法。该方法依赖于对接触式 AFM 微悬臂角偏转的闭环反馈。通过利用表面与探针之间微小的机械反馈路径，该方法在稳定性和精度上实现了高性能。我们描述了如何最小化源于微悬臂和反馈的内部误差源，以实现高达 3 nm 的准确精密控制。特别地，我们研究了如何最小化由针尖与基底间摩擦力引起的反馈滞后效应。通过应用简短的校准程序，可实现从接触到数微米探针-样品距离的距离控制，且绝对精度达纳米量级。所提出的方法兼容任何可固定于微悬臂芯片上的探针，并易于集成到现有 AFM 系统中。
引用
@article{arxiv.1502.03305,
title = {Accurate distance control between a probe and a surface using a microcantilever},
author = {Robert Molenaar and Jord C. Prangsma and Kees O. van der Werf and Martin L. Bennink and Christian Blum and Vinod Subramaniam},
journal= {arXiv preprint arXiv:1502.03305},
year = {2015}
}