致动状态下 MEMS 电容开关的互调失真
应用物理
2017-07-20 v1 介观与纳米尺度物理
摘要
本文首次对致动状态下的微机电系统 (MEMS) 电容开关的互调失真进行了理论和实验分析。研究发现，尽管该失真高于悬浮状态下的开关，但其随偏置电压的增加而减小，且在 55 kHz 至 1.1 MHz 的调制频率范围内依赖性较弱。这种依赖性可以通过开关致动时弹簧常数数量级的增加来解释。此外，分析表明，增加弹簧常数和降低接触粗糙度可以改善致动开关的线性度。这些结果对于调谐器、滤波器、移相器等应用中使用的微机电电容开关至关重要，因为在这些应用中，悬浮状态和致动状态的线性度均至关重要。
引用
@article{arxiv.1707.05903,
title = {Intermodulation distortion of actuated MEMS capacitive switches},
author = {Xi Luo and Yaqing Ning and David Molinero and Cristiano Palego and James CM Hwang and Charles L Goldsmith},
journal= {arXiv preprint arXiv:1707.05903},
year = {2017}
}