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硅上无位错轴向InAs-on-GaAs纳米线

材料科学 2017-08-17 v2

摘要

我们报道了在硅上通过分子束外延使用20 nm直径金催化剂生长轴向InAs-on-GaAs纳米线异质结构。首先优化GaAs纳米线段生长参数以获得纯纤锌矿晶体结构。然后开发了两步生长工艺以提高垂直InAs-on-GaAs纳米线的产率。通过进一步优化生长参数,实现了90%的笔直InAs-on-GaAs纳米线。利用能量色散X射线光谱研究界面成分变化,通过透射电子显微镜研究纳米线晶体结构。发现InAs段的标称成分为Inx_{x}Ga1x_{1-x}As,其中x=0.85x=0.85,与GaAs的晶格失配度为6%。高分辨率图像的几何相位分析应变映射显示GaAs/InAs界面无位错。总之,我们成功制备了高度失配的异质结构,证实了轴向GaAs/InAs界面在直径小于40 nm的纳米线中为赝晶生长的预测。

关键词

引用

@article{arxiv.1704.05631,
  title  = {Dislocation-free axial InAs-on-GaAs nanowires on silicon},
  author = {Daria V. Beznasyuk and Eric Robin and Martien Den Hertog and Julien Claudon and Moïra Hocevar},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1704.05631},
  year   = {2017}
}