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化学气相沉积石墨烯:从合成到应用

应用物理 2021-03-30 v1 材料科学

摘要

石墨烯是一种在众多应用中具有巨大潜力的材料。因此,人们投入大量精力利用化学气相沉积(CVD)技术进行大规模石墨烯制备。此外,研究还致力于开发将石墨烯纳入既有生产技术和工艺流程的方法。在本文中,我们简要综述了可用的 CVD 石墨烯合成方法。我们还讨论了将石墨烯转移至所需衬底的可扩展方法。最后,我们讨论了将受益于完全规模化、与半导体技术兼容的生产工艺的潜在应用。

关键词

引用

@article{arxiv.2103.14880,
  title  = {Chemical vapor deposited graphene: From synthesis to applications},
  author = {Satender Kataria and Stefan Wagner and Jasper Ruhkopf and Aamit Gahoi and Himadri Pandey and Rainer Bornemann and Sam Vaziri and Anderson D. Smith and Mikael Östling and Max C. Lemme},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2103.14880},
  year   = {2021}
}