面向二维材料边缘接触的可扩展制备
介观与纳米尺度物理
2023-03-07 v2 材料科学
摘要
我们提出了一种基于三层抗蚀剂体系、可靠且可重复地形成二维材料电学接触的制备方法。我们证明了该方法适用于碳化硅上的外延石墨烯（epigraphene）以及过渡金属硫族化合物（TMDCs）二硫化钼（）。对于外延石墨烯，其比接触电阻约为 ~ ，并遵循朗道量子极限 ，其中 为石墨烯的载流子密度。对于 薄片，我们的边缘接触实现了室温下开关比 （低温下 ）的场效应晶体管（FET）。此处所展示的制备路线允许使用热蒸发和溅射进行接触金属化，在设计电学接口时提供了额外的灵活性，这在实际器件和探索新兴材料的电学特性中至关重要。
引用
@article{arxiv.2206.03839,
title = {Scalable fabrication of edge contacts to 2D materials},
author = {Naveen Shetty and Hans He and Richa Mitra and Johanna Huhtasaari and Konstantina Iordanau and Julia Wiktor and Sergey Kubatkin and Saroj Dash and Rositsa Yakimova and Lunjie Zeng and Eva Olsson and Samuel Lara-Avila},
journal= {arXiv preprint arXiv:2206.03839},
year = {2023}
}