等离子体清洗：掺氮后铌超导腔的一种可能新处理方法
加速器物理
2015-08-27 v1
摘要
对铌超导腔进行掺氮处理及随后的电抛光（EP）可将腔的品质因数显著提高至3倍。但EP去除过程可能会在腔表面重新引入氢，这可能影响腔的射频性能。北京大学进行了铌样品的等离子体清洗研究，使用氩和氧的混合气体，旨在去除腔表面的污染物（碳氢化合物和微米级粉尘颗粒）以避免场发射。使用飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）分析了铌样品，以测量H、C、O、F、P和Nb的深度分布。测量结果表明，在约20Pa和100W条件下使用氩氧混合气体的等离子体清洗，可以在约30 nm深度内显著降低杂质元素的含量，而不会在腔表面引入氢。因此，等离子体清洗被提出作为掺氮后铌超导腔的一种可能新处理方法。
引用
@article{arxiv.1508.06353,
title = {Plasma cleaning: A new possible treatment for niobium superconducting cavity after nitrogen doping},
author = {Ziqin Yang and Xiangyang Lu and Datao Xie and Lin Lin and Kui Zhou and Jifei Zhao and Deyu Yang and Weiwei Tan},
journal= {arXiv preprint arXiv:1508.06353},
year = {2015}
}