金属纯度中生长与等离子体氧气效应的电子束诱导沉积建模
应用物理
2026-05-19 v1
摘要
电子束诱导沉积(EBID)实现了特定场合的纳米制造，但因显著碳污染受限于等离子体、纳米电子器件和传感器等应用。本研究考察了EBID工艺参数（如束流电流、加速电压和驻留时间）与沉积纳米结构中铂-碳组成之间的关系。利用能量位移X射线光谱(EDX)，我们建立了一个受阻指数生长模型，将沉积组成与制造条件相关联。为提高金属纯度，我们应用等离子体氧气处理，将EBID沉积物暴露于功率为30 W的等离子体中持续30分钟。术后EDX分析确认铂含量系统性增加，SEM检查显示由于碳 Removal导致纳米结构缩小。本工作旨在为优化EBID制造和后处理策略提供框架，以提高材料性能。
引用
@article{arxiv.2605.17551,
title = {Modeling Growth and Plasma Oxygen Effects on Metal Purity in Platinum EBID},
author = {Marianna D'Amato and Linda Piscopo and Hanna Le Jeannic and Alberto Bramati and Antonio Balena},
journal= {arXiv preprint arXiv:2605.17551},
year = {2026}
}