用于纳米机械谐振器先进制造的质谱传感
应用物理
2021-01-25 v1 介观与纳米尺度物理
摘要
我们报道了一种纳米机械工程方法，通过电子束机电耦合实时监测物质生长。该方法依赖于纳米机械谐振器卓越的质谱传感能力。采用聚焦电子束诱导沉积（FEBID）在单端夹紧纳米管悬臂的自由端选择性生长铂颗粒。电子束具有双重功能：既允许在纳米管上生长材料，又可通过探测纳米管噪声驱动的机械共振实时追踪沉积质量。一方面，该检测方法非常有效，因其可分辨仄克（zeptogram）量级的质量沉积；另一方面，该方法使用简单且易于广大潜在用户使用，因其可在现有商用 FEBID 系统中无需任何修改即可运行。所呈现的方法允许制造具有精确定制功能的混合纳米机械谐振器。它亦作为一种研究超薄纳米结构生长动力学的新工具而出现，为探究迄今难以触及的 FEBID 及相关方法的物理开辟了新机遇。
引用
@article{arxiv.2101.09201,
title = {Mass sensing for the advanced fabrication of nanomechanical resonators},
author = {G. Gruber and C. Urgell and A. Tavernarakis and A. Stavrinadis and S. Tepsic and C. Magen and S. Sangiao and J. M. de Teresa and P. Verlot and A. Bachtold},
journal= {arXiv preprint arXiv:2101.09201},
year = {2021}
}
备注
Published in Nano Letters