聚焦电子束诱导纳米打印中的配体共沉积：一种预测性成分模型
介观与纳米尺度物理
2025-09-30 v1
摘要
纳米技术的最新进展产生了制造具有可控材料成分的三维纳米结构的需求。聚焦电子束诱导沉积 (FEBID) 是一种纳米打印技术，具有最高的空间分辨率，并能够直接 3D 打印几乎任何形状。它依赖于吸附在基底上的金属-配体有机金属分子的局部电子诱导解离。到目前为止，FEBID 的连续介质建模涉及电子辐照期间前驱体分子的表面动力学，成功预测了纳米打印的形状和生长速率，如今构成了纳米结构 3D 纳米打印软件的基础。在这里，我们将该模型扩展到脱离配体的表面动力学。结合其解离和解吸行为，使得预测纳米打印材料的金属成分趋势成为可能，并能够根据电子曝光时间和通量定义理想的纳米打印工艺窗口。我们介绍了该模型的理论基础，对铬和银前驱体进行了实验验证，将计算值与各种前驱体的文献数据进行了比较，并讨论了其在设计新实验方面的潜力。这一贡献增强了我们对 FEBID 动力学的理解，并为预测性 FEBID 材料纳米打印提供了一个通用框架。
引用
@article{arxiv.2509.24838,
title = {Ligand co-deposition in focused electron beam induced nanoprinting: a predictive composition model},
author = {Jakub Jurczyk and Leo Brockhuis and Amalio Fernández-Pacheco and Ivo Utke},
journal= {arXiv preprint arXiv:2509.24838},
year = {2025}
}
备注
39 pages, 8 figures