聚焦电子束诱导沉积与材料科学的交汇
介观与纳米尺度物理
2020-02-24 v1
摘要
聚焦电子束诱导沉积（FEBID）是一种用于制造纳米结构的直写方法，其横向分辨率可与先进的电子光刻技术相媲美，此外还能够创建复杂的三维纳米架构。在过去十年中，FEBID 和聚焦电子束诱导处理（FEBIP）的几项新进展，使得基于 FEBID 特定材料以及所用纳米结构的特定形状和排列，在固体物理学和材料科学领域的科学贡献不断增长。在这篇综述中，我们试图对这些发展及其在各个研究领域中产生的贡献给出广泛的概述，包括低温下纳米结构金属的介观物理、超导体和纳米颗粒合金或金属间化合物及其应用的直写、FEBID 对超材料领域的贡献，以及 FEBID 结构在力或应变传感、介电变化或磁杂散场中的应用。还涵盖了 FEBID 在复杂三维纳米架构的仿真辅助生长方面的最新进展。本综述特别强调在描述不同发展时的概念清晰性，这反映在所呈现图形的示意性质上，以及每个主要主题末尾反复出现的讨论相应“挑战与前景”的最终小节中。
引用
@article{arxiv.1709.05835,
title = {Focused electron beam induced deposition meets materials science},
author = {Michael Huth and Fabrizio Porrati and Oleksandr V. Dobrovolskiy},
journal= {arXiv preprint arXiv:1709.05835},
year = {2020}
}
备注
Review