基于β-烷基酮酸酐前驱体的银离子电子束直接写入：首次探索

直接电子束写入是一种用于制造复杂纳米结构的强大工具。电子束在局部分解吸附在表面的气相前驱体分子后，可形成沉积物，类似于3D打印，但无需阻光剂或曝光步骤。本文首次运用于聚焦电子束诱导沉积（FEBID）的银β-烷基酮酸酸酐前驱体。所用化合物(hfac)AgPMe₃在70-80℃的蒸发温度下工作，兼容市售气体注入系统，可直接集成到任何标准扫描电子显微镜中。对于紧密聚焦的电子束，可实现光滑的3D几何结构，但沉积体内的银含量较低。电子束诱导沉积对辐照条件敏感，导致沉积物组成变化以及内部不均匀性，例如形成由纯银层构成的层状结构，该层位于基片界面，上方覆盖一层银含量较低的沉积物。沉积过程后的成像揭示了诸如银颗粒在表面生长等形貌变化。尽管这些效应使其在3D打印应用中不够理想，但具有独特的沉积结构——基片下方的薄而致密的银薄膜——从根本上具有研究价值，可能为实际应用提供额外的机遇。