电子束在扫描电子显微镜中对金属微粒的诱导性修改
材料科学
2024-08-06 v1
摘要
电子显微镜中利用高功率密度局部电子束（加速电压超过100 kV）作为能量源，可在亚微米尺度上转化材料。本文发展了采用30 kV加速电压的低能电子束对 precursor 微粒进行转化的技术，以提升该技术的灵活性和效率。该技术可归类为电子束光刻（电子束用于钻孔或生长不同材料）或电子束焊接（克服熔化相变后可将物料焊接在一起）。在非晶SiOx基板上修改金属微粒的实验表明，不弹性电子-物质相互作用及随后的局部加热是导致微粒在电子束下熔化和汽化的主要原因。Monte Carlo散射模拟和热力学建模进一步支持了这些发现。
引用
@article{arxiv.2408.02409,
title = {Electron-beam-induced modification of gold microparticles in an SEM},
author = {Kristina Weinel and Marc Benjamin Hahn and Axel Lubk and Wen Feng and Ignacio Gonzalez Martinez and Bernd Büchner and Leonardo Agudo Jácome},
journal= {arXiv preprint arXiv:2408.02409},
year = {2024}
}