电子束诱导沉积实验电子输运建模中的表面激发
介观与纳米尺度物理
2015-06-29 v1
摘要
本综述文章旨在提高对聚焦电子束诱导沉积（FEBID）纳米结构电子输运建模中通常未考虑的一个基本方面的认识：表面激发一方面在初电子能量高达几 keV 的反射电子能量损失谱中负责可观的一部分强度，另一方面无论初电子能量如何，它们在固体二次电子发射中都起着关键作用。在本综述中，我们提出表面激发和低能电子输运主题近期工作的一般视角，强调 FEBID 模拟中电子输运建模最相关的方面。
引用
@article{arxiv.1505.00938,
title = {Surface excitations in the modelling of electron transport for electron- beam-induced deposition experiments},
author = {Francesc Salvat-Pujol and Roser Valenti and Wolfgang S. Werner},
journal= {arXiv preprint arXiv:1505.00938},
year = {2015}
}
备注
17 pages, 5 figures