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利用电子断层扫描分析聚焦电子束诱导沉积材料的纳米颗粒度

材料科学 2021-01-11 v1

摘要

纳米颗粒材料体系在研发中有多种应用前景。其物理性能通常由晶粒尺寸、形状、相互间距以及包埋基体的化学性质决定。利用聚焦电子束诱导沉积可设计任意形状的纳米复合材料,其中金属纳米颗粒结构包埋于碳质基体中。通过“生长后”电子束固化,可对这类材料进行调控以改善电输运或力学行为。此类优化需要深入理解并表征其内部化学与形貌变化,而传统基于投影的成像技术在此方面存在不足。本文中,我们应用扫描透射电子断层扫描,全面刻画初始制备后包埋铂纳米颗粒的分布与形貌程度,并展示了电子束固化的影响,其导致相互连接的金属纳米颗粒形成致密区域。

关键词

引用

@article{arxiv.2101.02896,
  title  = {Analyzing Nanogranularity of Focused Electron-Beam-Induced Deposited (FEBID) Materials by Electron Tomography},
  author = {Cornelia Trummer and Robert Winkler and Harald Plank and Gerald Kothleitner and Georg Haberfehlner},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2101.02896},
  year   = {2021}
}