聚焦电子束沉积过程的随机动力学仿真
计算物理
2025-06-24 v1 数据分析、统计与概率
摘要
本工作报告了一种新的方法，用于聚焦电子束诱导沉积（FEBID）的多尺度计算建模。该方法采用先进的软件包：MBN Explorer 和 MBN Studio 实现。我们的 method 基于随机动力学（SD），用于描述复杂系统的概率演化。通过分子动力学（MD）仿真确定了新的 SD 基于 FEBID 模型的参数。为此开发了一种新方法论，并详细描述了该方法论。这一方法可应用于许多其他复杂系统动力学的案例研究。我们的工作聚焦于涉及 W(CO) 前体分子沉积于水羟基 SiO-H 基底上的 FEBID 过程。对正在生长的 W 富集纳米结构进行仿真和详细分析。该方法被证明能够提供对复杂 FEBID过程的关键原子尺度见解，包括每个生长阶段的元素组成和形貌。导出的结果与实验观察进行了比较并得到验证。本研究开发的多尺度方法可以进一步升级并应用于重要的技术发展，如 3D 纳米打印。
引用
@article{arxiv.2506.18163,
title = {Stochastic dynamics simulation of the focused electron beam induced deposition process},
author = {Ilia A. Solov'yov and Alexey Prosvetov and Gennady Sushko and Andrey V. Solov'yov},
journal= {arXiv preprint arXiv:2506.18163},
year = {2025}
}